Hoʻohana kēia mea hana i ke ʻano hana interferometric non-contact, hoʻololi ʻana i ka manawa, ʻaʻole e hōʻino i ka ʻili o ka mea hana i ka wā o ke ana ʻana, hiki ke ana koke i nā kiʻi ʻekolu-dimensional o ka micro-topography o ka ʻili o nā mea hana like ʻole, a nānā a helu i ke ana. hopena.
Hōʻike huahana
Nā hiʻohiʻona: He kūpono no ke ana ʻana i ka ʻeleʻele o ka ʻili o nā poloka ana a me nā ʻāpana optical; ka hohonu o ka reticle o ke alii a me ka dial; ka mānoanoa o ka uhi ʻana o ka hale kuʻi a me ka morphology o ka palena o ka uhi; ka ili o ka diski magnetic (optical) a me ke ana o ke poʻo magnetic; ʻO ka ʻeleʻele o ka ʻili wafer silika a me ke ana ʻana o ke ʻano, etc.
Ma muli o ke ana kiʻekiʻe o ka pono o ka mea kani, loaʻa iā ia nā hiʻohiʻona o ka hoʻopili ʻole a me ke ana ʻekolu-dimensional, a hoʻohana i ka mana kamepiula a me ka loiloi wikiwiki a me ka helu ʻana i nā hopena ana. Ua kūpono kēia mea hana no nā pae a pau o ka hoʻāʻo ʻana a me ke ana ʻana i nā ʻāpana noiʻi, nā lumi ana ʻoihana ʻenehana a me nā ʻoihana mining, nā papa hana hoʻoponopono pololei, a kūpono hoʻi i nā ʻOihana o ke kula kiʻekiʻe a me nā keʻena noiʻi ʻepekema, etc.
ʻO nā palena ʻenehana nui
Ke ana ana i ka hohonu o ka microscopic unevenness hohonu
Ma ka ʻili mau, inā ʻaʻohe kiʻekiʻe e hoʻololi koke ʻia ma mua o 1/4 ka lōʻihi nalu ma waena o ʻelua mau pika pili: 1000-1nm
Ke loaʻa kahi hoʻololi kiʻekiʻe ma mua o 1/4 o ka nalu nalu ma waena o ʻelua mau pika pili: 130-1nm
Hiki hou ke ana: δRa ≤0.5nm
ʻO ka hoʻonui ʻia ʻana o ka lens: 40X
Puka helu: Φ 65
Ka mamao hana: 0.5mm
Ke kahua o ka ʻike maka: Φ0.25mm
Kiʻi: 0.13×0.13mm
ʻO ka hoʻonui ʻana i nā mea kani: 500×
Kiʻi (mālama ʻia e ka pale kamepiula)-2500×
Laina ana o ka mea loaa: 1000X1000
Nui pika: 5.2×5.2µm
Ana manawa laʻana (scanning) manawa: 1S
ʻO ka hoʻohālikelike aniani maʻamau (kiʻekiʻe): ~50%
Noʻonoʻo (haʻahaʻa): ~4%
Puna kukui: kukui kukui 6V 5W
ʻO ka lōʻihi o ka nalu kānana hoʻopili ʻōmaʻomaʻo: λ≒530nm
Ka hapalua laula λ≒10nm
Hapai microscope nui: 110 mm
Hapai papakaukau: 5 mm
Ka laulā o ka neʻe ʻana ma ka ʻaoʻao X a me Y: ~10 mm
Ka laulā o ka papa hana: 360°
Kiʻi ʻana o ka papa hana: ±6°
Pūnaehana kamepiula: P4, 2.8G a ʻoi aʻe paha, hōʻike pāpaʻi 17-ʻīniha me 1G a ʻoi aku ka hoʻomanaʻo.